全自動金剛石生長爐研發成功，晶盛機電破解“*半導體”材料

近日，晶盛機電技術研發再次突破，成功研發出全自動金剛石生長爐。

官方消息稱，晶盛機電晶體實驗室經過半年多的工藝測試，全自動MPCVD法生長金剛石設備（型號XJL200A）成功生長出高品質寶石級的金剛石晶體。

據介紹，此次XJL200A金剛石生長爐成功解決了傳統的MPCVD培育鉆石生長技術的行業痛點：對多晶及生長裂紋等缺陷的判斷、對晶體溫度和生長厚度等關鍵生長參數的控制都依賴人工判斷，克服了目前人工培育鉆石過程中質量控制和規�；�生產的瓶頸。

作為碳化硅、氮化鎵之后具有代表性的新一代半導體材料，金剛石晶體又稱鉆石，被譽為“*半導體”材料，此次金剛石晶體生長爐成功研制，標志著晶盛機電在硅、藍寶石、碳化硅等晶體生長設備家族再添新成員。

據項目負責人表示，目前已經完成了設備定型和批量工藝開發，設備即將投放市場，能為客戶提供一站式解決方案。

23萬片意向訂單在手，50億SiC襯底晶片項目即將開工

資料顯示，晶盛機電是國內*的半導體材料裝備和LED襯底材料制造的高新技術企業，主要圍繞硅、碳化硅、藍寶石三大主要半導體材料開展業務。

近年來，晶盛機電順應行業發展趨勢，提早布局碳化硅晶片市場。目前，該公司碳化硅外延設備已通過客戶驗證，同時在6英寸碳化硅晶體生長、切片、拋光環節建立測試線，其6英寸碳化硅晶片已獲得客戶驗證。

晶盛機電此前在投資者關系活動記錄表中披露，截至2022年2月7日，客戶A已與公司形成采購意向，2022年-2025年公司將優先向其提供碳化硅襯底合計不低于23萬片。

此外，為加快推進第三代半導體材料碳化硅業務，2月7日，晶盛機電發布公告稱，擬募集資金不超過57億元，其中擬投入31.34億元在寧夏銀川建設碳化硅襯底晶片生產基地項目。

2月25日，晶盛機電碳化硅襯底晶片生產項目正式落戶寧夏。據央廣網報道，該項目總投資50億元，一期預計3月開工建設，投資總額33.6億元，一期建成達產后預計年產6英寸碳化硅晶片40萬片。